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采用Ȁ光辅助加热电(sh)解液流复合加工微小?/h2>
~辑   重庆(jin)初刻   发表?022-08-23

Z(jin)实现不锈钢微l电(sh)解定域加工,提出Ȁ光掩膜表面改性微l电(sh)解复合加工技术。研发了(jin)Ȁ光掩膜微l电(sh)解复合加工装|,q进行样件加工试验?


首先Q采用光U激光在304不锈钢表面扫描加热进行打标图案,利用X线光电(sh)子能谱分?XPS)对不锈钢表面Ȁ光打标图案进行分析,发现Ȁ光在不锈钢表面打标时被空气氧化生成铁、铬{氧化物Q生成的打标图案h耐腐蚀性,形成保护性掩膜。然后进行电(sh)解加工,׃掩膜图案在电(sh)解过E中起到保护作用Q选择合适的?sh)解加工参数Q在不锈钢表面能加工复杂的微l构。最后利用SEM、光学轮廓A来观微l构形貌、粗p度{。研I结果表?利用Ȁ光表面改性,l合微细?sh)解加工能实?04不锈钢微l构的快速加工,该工艺在微细加工领域h很好的发展前景?


?sh)解加工是以“离子”方式去除金属,在金属微l加工领域有qK的发展前景?

目前Qؓ(f)?jin)克服?sh)解加工的杂散腐蚀Q国内外学者对微细?sh)解加工展开q泛的研I。如采用U秒U超H脉冲电(sh)微l电(sh)解加工微金属零Ӟ取得较好研究成果;


通过叠加场q行微细?sh)解加工Q有利于提高加工_ֺ、改善表面质量和提高加工效率;利用U水q行微细?sh)解Q采用阳d交换膜促(j)q超U水解离Q提高电(sh)解加工电(sh)密度,在不锈钢表面加工微孔;采用光致抗蚀q膜Q电(sh)解液正冲Q在金属零g表面加工凹坑结?提出Ȁ光电(sh)解复合微l加?选用导电(sh)透明的氧化铟锡ITOȝ作ؓ(f)?sh)解阴极Q光U激光扫描加热去除电(sh)解加工中在金属表面生的钝化薄膜Q后l电(sh)解,实现微细加工;PAJAK{?


采用Ȁ光辅助加热电(sh)解液流复合加工微小?/a>Q都取得较好加工效果?