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ä¸ÞZº†æŠ‘制æ‚æ•£è…蚀åQŒå®žçŽ°å¾®¾l†ç”µ(sh¨´)è§£åŠ å·¥ï¼Œæœ¬æ–‡é‡‡ç”¨å…‰çº¤‹È€å…‰è¡¨é¢å·¥½E‹æŠ€æœ¯ï¼Œåœ?04ä¸é”ˆé’¢è¡¨é¢ç›´å†™æ‰«ææ‰“æ ‡åˆ»èš€å›¾æ¡ˆåQŒè¿›è¡Œè¡¨é¢æ”¹æ€§ï¼Œç”Ÿæˆå…ähœ‰è€è…蚀性ä¿æŠ¤æŽ©è†œï¼Œ¾l“åˆå¾®ç»†ç”?sh¨´)è§£åŠ å·¥åQŒç”Ÿæˆå¤æ‚å¾®¾l†ç»“æž?
ç ”å‘çš„å…‰¾U¤æ¿€å…‰æŽ©è†œå¾®¾l†ç”µ(sh¨´)è§£åŠ å·¥è£…¾|®æ˜¯ž®†å…‰¾U¤æ¿€å…‰è¡¨é¢æ”¹æ€§æ¨¡å—与微细ç”?sh¨´)è§£åŠ å·¥æ¨¡å—安装在åŒä¸€åˆ†èöL率äØ“(f¨´)0åQ?μm的三轴进¾l™æ»‘åîC¸ŠåQŒè§£å†Ïx¿€å…‰æŽ©è†œç”µ(sh¨´)解å¤åˆåŠ 工定ä½é—®é¢?
‹È€å…‰åˆ¶æŽ©è†œæ¨¡å—采用脉冲å¼è¾“出的光纤‹È€å…‰å™¨åQŒæŒ¯é•œå…‰å¦æŒ¯é•œã€?
光纤‹È€å…‰å™¨è¾“出功率范围0ï½?0WåQŒæœ€ž®æ¿€å…‰å…‰æ–‘直径äØ“(f¨´)10μmåQŒæ¿€å…‰è¾“出频率范å›?ï½?00kHzåQŒè¾“出激光æ‡Lé•?åQ?64μmã€?
通过¾_‘Ö¯†‹È€å…‰å™¨çš„å…‰å¦èšç„¦ç³»¾lŸåÅžæˆç›´å¾„很ž®çš„‹È€å…‰ç„¦ç‚¹ï¼Œ¾l过¾_‘Ö¯†ä¸‰åæ ‡å·¥ä½œå°ã€æŒ¯é•œèƒ½æŽ§åˆ¶‹È€å…‰ç„¦ç‚¹åœ¨å·¥äšg扫æ路径åQŒåœ¨å·¥äšg表é¢åŠ 工直写åQŒå®žçŽ°å¯¹å·¥äšg表é¢åŠ çƒåŒºåŸŸçš„å°ºå¯¸å’Œå½¢çŠ¶ä¸¥æ ¼æŽ§åˆ¶åQŒè¿›è¡Œæ¿€å…‰è¡¨é¢æ”¹æ€§å¤„ç†ï¼Œå¯ä»¥åœ¨å·¥ä»¶ä¸Šç”Ÿæˆå…ähœ‰ç‰ÒŽ(gu¨©)®Šæ€§è´¨çš„å¤æ‚åŞ状图案作为掩膜。由于采用的光纤‹È€å…‰åŠŸçŽ‡å°ã€è„‰å†²æ€§è¾“出,脉冲宽度åªæœ‰100nsåQŒæ‰€ä»¥æ¿€å…‰æ‰«æ过的表é¢ç†”层很薄ã€çƒä½œç”¨åŒºå¾ˆž®ï¼Œç”Ÿæˆäºšå¾®¾c³çñ”掩膜ä¿æŠ¤å±?